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測試分析服務(wù)

馳拓科技可為客戶提供各種測試表征服務(wù)，包括WAT測試，磁性器件測試，工藝可靠性，材料特性和結(jié)構(gòu)分析等

1.WAT測試（12寸晶圓）

MOS器件特性

存儲器件特性

BEOL電參數(shù)：R，C，Rs

2.磁性器件測試（12寸晶圓）

讀寫特性：TMR，Vc，Rp，Rap，WER

可靠性測試：BDV，Endurance，Data Retention

其它器件參數(shù)

3.工藝可靠性

MOSFET可靠性：GOI/TDDB，NBTI等

后段工藝可靠性：IMD/TDDB，SM

4.材料特性（薄膜）

磁性材料：厚度，電阻率，應(yīng)力，Ms，Hc等

非磁性材料：厚度，電阻率，應(yīng)力，RI等

MTJ多層膜：RA，MR，Hc，Hex，PMA，阻尼系數(shù)，Ms等

5.結(jié)構(gòu)分析

SEM切片分析，AFM表面形貌分析